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日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)： FUD-1 Model-130

所屬分類(lèi)：密度計(jì)

產(chǎn)品時(shí)間：2025-05-03

簡(jiǎn)要描述：日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130
Model-130是一個(gè)概念模型，強(qiáng)調(diào)了所測(cè)量濃度的穩(wěn)定性，
在需要高精度和高穩(wěn)定性密度計(jì)側(cè)的半導(dǎo)體制造過(guò)程中非常有效。

詳細(xì)說(shuō)明：

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)

產(chǎn)品總覽

該模型被定位為FUD-1 Model-13的模型，可滿(mǎn)足諸如高精度和高穩(wěn)定性測(cè)量等客戶(hù)需求。

單組分密度計(jì)的特點(diǎn)

Model-130是一個(gè)概念模型，強(qiáng)調(diào)了所測(cè)量濃度的穩(wěn)定性，
在需要高精度和高穩(wěn)定性密度計(jì)側(cè)的半導(dǎo)體制造過(guò)程中非常有效。

值得

  • 可以高精度連續(xù)測(cè)量

  • 免維護(hù)，無(wú)需定期調(diào)整/校準(zhǔn)

  • 易于安裝，因?yàn)樵诎惭b過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行任何調(diào)整

  • 通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋到過(guò)程


用途

  • CMP過(guò)程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制

  • 稀釋過(guò)程中各種化學(xué)濃度的管理（H2O2，TMAH，HNO3，H2SO4，HCl等）

  • 清潔過(guò)程中的清潔液濃度控制（HF，NH4OH，KOH，IPA等）

  • 控制蝕刻過(guò)程中的蝕刻液濃度（HF，H2SO4等）



日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130

規(guī)范

格式FUD-1 130型
測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度
顯示LCD（密度，溫度，聲速/各種參數(shù)）
輸出信號(hào)模擬DC4-20mA（可設(shè)置任何濃度值）
數(shù)字RS232C（密度/溫度/聲速/錯(cuò)誤代碼）
警報(bào)上下限測(cè)量錯(cuò)誤
電源供應(yīng)AC100V-240V 50 / 60Hz兩用30VA（也可使用DC24V）
施工面板安裝類(lèi)型（符合DIN標(biāo)準(zhǔn)）
功能輸出范圍設(shè)定功能，警報(bào)輸出設(shè)定功能，濃度顯示移動(dòng)平均功能，濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能，自診斷功能，故障保險(xiǎn)功能，異常值取消功能
選項(xiàng)溫度輸出（DC4?20mA）
渠道高達(dá)10Ch
電纜6米
濕件材料PFA涂料
配件公稱(chēng)直徑為1/2到1英寸的各種類(lèi)型
測(cè)量環(huán)境轉(zhuǎn)換器
10-40 ℃ RH85％以下
發(fā)射機(jī)5-45°攝氏度
測(cè)量液體溫度0-50°攝氏度
耐壓性0.3兆帕
流量5 l / min以下




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